半導體接觸角測量儀晶圓表面潤濕分析

產(chǎn)品簡介：半導體接觸角測量儀晶圓表面潤濕分析，采用光學成像的原理-圖像輪廓分析方式測量樣品表面的接觸角、潤濕性能、表界面張力、前進后退角、表面能等。主要由光源、注射單元、樣品臺、采集系統(tǒng)、分析軟件等組成。設(shè)備采用全自動進液裝置，性價比高、拓展性強、功能全面、可滿足各種常規(guī)測量需求，目前已經(jīng)廣泛使用在眾多高校院所及企業(yè)。

產(chǎn)品型號：CA720

更新時間：2024-12-10

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問量：531

服務(wù)熱線

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

接觸角測量系列

CA700全自動多點光學接觸角測量儀 CA720 晶圓接觸角測量儀 CA600 高溫接觸角測量儀 CA500 傾斜型接觸角測量儀 CA300 大平臺接觸角測量儀 CA200 自動型接觸角測量儀 CA100 標準型接觸角測量儀 CA80基礎(chǔ)型光學接觸角測量儀 CA60 便攜式接觸角測量儀

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全自動晶圓專用接觸角測量儀在晶圓親水性檢測中的關(guān)鍵作用

產(chǎn)品介紹

半導體接觸角測量儀晶圓表面潤濕分析

1.樣品臺專為晶圓設(shè)計，可適應(yīng)6-12寸的晶圓，具備四向?qū)χ泄δ堋?/span>

2.矩陣型多點測試，測試精準簡單方便。自動定位-滴液-接液-自動測量-自動換位。

3.一次測試點位多達50+個,可在原圖上直接顯示數(shù)據(jù)并保存。

4.測試結(jié)果可直接保存在陣列圖上。

5.批量方案設(shè)置功能，可保存多個測量方案，一次保存，終身無需再設(shè)定。可隨時調(diào)取。

半導體接觸角測量儀晶圓表面潤濕分析

貨期：現(xiàn)貨

品牌：北斗儀器

型號：CA720

產(chǎn)地：廣東東莞

名稱：全自動晶圓專用接觸角測量儀

接觸角（Contact angle）是指在氣、液、固三相交點處c作的氣-液界面的切線，此切線在液體一方的與固-液交界線之間的夾角θ，是潤濕程度的量度。是現(xiàn)今表面性能檢測的主要方法。半導體接觸角測量儀晶圓表面潤濕分析，采用光學成像的原理-圖像輪廓分析方式測量樣品表面的接觸角、潤濕性能、表界面張力、前進后退角、表面能等。主要由光源、注射單元、樣品臺、采集系統(tǒng)、分析軟件等組成。半導體接觸角測量儀晶圓表面潤濕分析，采用全自動進液裝置，性價比高、拓展性強、功能全面、可滿足各種常規(guī)測量需求，目前已經(jīng)廣泛使用在眾多高校院所及企業(yè)。

專為晶圓深度定制的一臺 晶圓接觸角儀 ，廣泛用于晶圓的潤濕性能分析與研究，是一臺快速測量晶圓多點位潤濕性分析測量的設(shè)備。

半導體接觸角測量儀晶圓表面潤濕分析

設(shè) 備整體參數(shù)	型號	CA720
	名稱	全自動晶圓專用接觸角測量儀
	類型	晶圓型
	機身材質(zhì)	航空鋁
	輸入電源	220V 50-60Hz
	功率	10W
	儀器尺寸	約890mm（W）400mm(L) 580mm(H)
	儀器重量	約30KG
樣品平臺系統(tǒng)	平臺尺寸	直徑320mm
	前后Y移動	自動：行程160mm,精度0.1mm
	測試速度	0.1-50mm/s
	上下Z移動	手動：行程30mm,精度0.1mm
	水平調(diào)整	整機水平調(diào)整，攝像頭水平調(diào)整（配送專業(yè)級XY水平儀）
	可放置樣品	6-12寸
	樣品臺材質(zhì)	鋁合金帶四向?qū)χ屑夹g(shù)
注射系統(tǒng)	注液移動行程	Y行程：40mm Z行程（自動）：35mm，精度0.1mm（針頭對中及液滴自動轉(zhuǎn)移）
	滴樣控制移動	行程：60mm,精度：0.01mm
	滴樣方式	自動
	滴樣速度	0.01-25ul/s
	滴液精度	0.01ul
	加液方式	自動（配送5ml玻璃燒杯加液）
	微量進樣器	容量：500ul（全自動液位實時檢測）
	針頭	標配0.5mm不銹鋼針頭（可替換）10個、超疏水針頭0.25mm（可替換）10個
采集系統(tǒng)	相機	日本SONY原裝高速工業(yè)級芯片(Onsemi行曝光)
	鏡頭	0.7x-4.5x
	傳感器類型	1/1.8 英寸逐行掃描CMOS
	分辨率	1280×1024
	焦距	±2.5mm可調(diào)
	圖像拍攝方法	單張、間隔、連續(xù)
	拍攝間隔時間	500-3600000ms
	視頻錄制方式	錄像、回播、合成
	清晰度測量	全自動軟件對焦
	最大拍攝速度	80幀/s
光源系統(tǒng)	光源	美國進口工業(yè)級白色冷光源（有效避免因光源散發(fā)熱量蒸發(fā)液滴）
	組合方式	采用日本進口石英擴散膜使得亮度更均勻，液滴輪廓更清晰
	使用壽命	5萬小時以上
	亮度調(diào)節(jié)	PWM無極調(diào)節(jié)+軟件調(diào)節(jié)
	亮度識別	通過北斗算法自動識別亮度保證優(yōu)良亮度
	光源波長	400～760nm
接觸角測量	功率	1W
	接觸角測量方法	懸滴法、座滴法等
	測量軟件	CA V2.0靜/動態(tài)接觸角測量軟件+表面能測量軟件
	軟件操作系統(tǒng)要求	windows 10(64位)
	接觸角測量方式	自動與手動
	接觸角計算方法（static contact angle）	自動擬合法（ms級別一鍵全自動擬合，不存在人工誤差）、三點擬合、五點擬合、自動測量（包括圓擬合法/斜圓擬合法（Circle method/ Oblique Circle）、橢圓擬合法/斜橢圓擬合法(Ellipse method /Oblique Ellipse)、B-Snake擬合法、凹凸面測量等
	動態(tài)接觸角測量（Dynamic contact angle）	前進角（Advancing angle），后退角（receding angle），滯后角（hysteresis angle） (可批量擬合多張圖片或視頻連續(xù)擬合計算Video analysis)
	基線擬合	自動與手動
	角度范圍	0°＜θ＜180°
	精度	0.1°
	分辨率	0.001°
表面能	表面能測量方法	Fowks法，OWRK法，Zisman法，EOS法，Acid-Base Theory法,Wu harmonic mean法,Extended Fowkes法（軟件中預(yù)裝37種液體數(shù)據(jù)庫，可自行建立液體性能參數(shù)）數(shù)據(jù)可直接調(diào)入用于表面能估算，液體庫數(shù)據(jù)可自行添加、刪除和修改。可分別得到固體表面能、色散力、極性力、氫鍵力、范德華分量、路易斯酸分量、路易斯堿分量等
表面能	表面能單位	mJ/m2
表界面張力	測量方法	自動擬合+手動擬合
	精度	0.01 mN/m
	測量范圍	0.1mN/m-2000mN/m
潤濕性分析	粘附功	一鍵自動分析
	鋪展系數(shù)	一鍵自動分析
	粘附張力	一鍵自動分析
	精度	0.001 mN/m
	單位	mN/m

眾所皆知，軟件是一臺儀器的靈魂所在，組成系統(tǒng)的硬件雖為測量提供了基礎(chǔ)，但只有在軟件的支持下，才能實現(xiàn)硬件的功能，充分發(fā)揮其潛力，使系統(tǒng)的總體功能和性能如虎添翼。

本公司研發(fā)定制的CA V1.2.1靜/動態(tài)接觸角測量軟件+表面能測量軟件專用測控軟件自2010年開始就面向客戶提供使用，經(jīng)過11年來各行業(yè)客戶的使用反饋、使用要求、國家標準和國外標準的融合，已經(jīng)達到一個很成熟穩(wěn)定的狀態(tài)。

擁有自主知識產(chǎn)權(quán)的軟件控制系統(tǒng)（行業(yè)內(nèi)極少），在對以后軟件升級，新標準更換的時候起到一個很大的優(yōu)勢。

測試報告

半導體接觸角測量儀晶圓表面潤濕分析

精細機械：系統(tǒng)的框架選用高質(zhì)量的進口高強度氧化保護鋁型材并烤漆處理，所有的其它主要組件也都是由鋁合金，不銹鋼和銅合金通過精密制作而成。

精密定位：系統(tǒng)所有的線性移動單元，包括三維樣品臺（xy-軸），(Z-軸)注射器/針頭的移動調(diào)節(jié)，均是由直線銅齒條和精密燕尾槽驅(qū)動，確保傳動平穩(wěn)、輕松和精細。

自動控制：作為標準配置CA-200配備了專業(yè)級軟件控制的精密自動液體分配系統(tǒng)AD（Automatic Dispensing）。采用精密線性直線導軌滴液，控制精度可達0.1ul,確保測量的準確性和重復(fù)性，普賽特人改變傳統(tǒng)導液管進液的方式，采用推桿直頂式結(jié)構(gòu)，更方便進樣器的清洗及更換，同時避免了傳統(tǒng)導液管進樣排空氣難且需專業(yè)人士操作的難題。它既可裝載高精度氣密玻璃微量注射器（如用于需精密/精細體積控制的測量）又可配置一次性塑料注射器（如用于難清洗的液體樣品測量）；當液體用完后，可直接通過配送的5ml燒杯進行自動加液。

配置齊全的進樣器與針頭選擇：提供數(shù)十種不同規(guī)格的進樣器供使用者選擇，如不同規(guī)格（25ul/50ul/100ul/250ul/500ul/1000ul….）,不同材質(zhì)（氣密玻璃進樣器/塑料進樣器），不同品牌（Hamilton/boli….）以滿足不同客戶需求。提供各種規(guī)格（10-34#）以及不同材質(zhì)（不銹鋼/聚四氟乙烯/pp撓性針頭）以及特殊針頭（彎曲針頭），可用于常規(guī)接觸角測量，也可用于超疏水、超親水、高粘度等特殊液體的進樣、液滴轉(zhuǎn)移等。

成像系統(tǒng)：作為標準配置CA-200采用了行曝光（Rolling Shutter）高分辨率CMOS圖像傳感器配合pomeas0.7-4.5遠心輪廓鏡頭。保證優(yōu)良的成像效果。同時亮度連續(xù)數(shù)字可調(diào)的高強度背光冷光源為成像提供了均勻的背景照明。

軟件平臺：軟件是整個測量系統(tǒng)的靈魂和大腦。 CAPST V1.2.1軟件為用戶提供了范圍廣泛的功能和特性。作為一光學方法，測量的精度取決于成像的質(zhì)量和后著的處理、分析和計算方法。其中采用的亞像素（ sub-pixel）液滴坐標檢測，自動液 /固 /流 -三相接觸線識別，液滴全輪廓分析，和基于連續(xù)信息反饋的液滴監(jiān)視功能等構(gòu)成了軟件的核心組件，而且這一切又都能實時完成。

半導體接觸角測量儀晶圓表面潤濕分析

1.usb2.0數(shù)字CCD攝像頭 1個	2.連續(xù)變倍光學系統(tǒng) 1個
3.手動加樣系統(tǒng) 1套	4.手動CCD傾斜系統(tǒng) 1套
5.表界面分析測量系統(tǒng)應(yīng)用軟件 1套	6.說明書紙質(zhì)一份及說明書電子版 1份
7.保修卡及合格證1份	8.親水進樣針10個，疏水進樣針10個
9.500ul進樣器1個	10.電源線及數(shù)據(jù)線1條
11.XY專用水平儀1個	11.晶圓自動旋轉(zhuǎn)系統(tǒng) 1套

半導體接觸角測量儀晶圓表面潤濕分析

物料名稱	數(shù)量	規(guī)格描述
主機框架	1	高強度進口歐標航空鋁合金結(jié)構(gòu)搭配模塊化設(shè)計
相機	1	USB2.0接口， SONY 1/1.8" MT9M001 Rolling shutter CMOS，分辨率H1280×V1024，幀率80fps
鏡頭	1	對焦距離90mm
光源	1	日本CCS工業(yè)級深度定制單波長LED輪廓冷光源，120個密集光源點，配合美國進口柔光板與均光板，亮度連續(xù)可調(diào)，12V安全電壓
支撐腳	1	鋁合金+減震膠墊結(jié)構(gòu)，配合減震系統(tǒng)，可調(diào)節(jié)機臺水平與防震效果
俯仰調(diào)整滑臺	1	螺桿控制，調(diào)整范圍±1°
滴液驅(qū)動模塊	1	電機驅(qū)動，超細牙絲桿轉(zhuǎn)動，移動行程60mm，導程1mm，重復(fù)定位精度±0.01μl
滴液升降模塊	1	旋鈕驅(qū)動，絲桿轉(zhuǎn)動，重復(fù)定位精度±1mm
樣品臺升降滑臺	1	齒輪齒條控制，移動行程30mm，分辨率0.1mm
樣品臺平移滑臺	1	齒輪齒條控制，移動行程X30×Y50mm，分辨率0.1mm
固定件和連接件	1	AL6061鋁合金數(shù)控加工而成，表面烤漆處理
控制器	1	微機控制系統(tǒng)，發(fā)送指令控制滴液系統(tǒng)
電氣控制單元	1	集成了包括電路、電位器、開關(guān)、電源等
測量軟件	1	包括接觸角測量、表面張力測量、表面能估算和潤濕性分析
微量進樣器	1	500uL，分辨率0.001ul
耗材	1	親水進樣針，疏水進樣針,500ul進樣器
電腦（選配）	1	如下配置

物料名稱	品牌	物料名稱	品牌
CPU	英特爾i3處理器	鼠標鍵盤	力拓
主板	英特爾H61主板	機箱	金和田
內(nèi)存	華碩8G DDR3 1600	電源	長城
硬盤	七彩虹 250G	顯示器	HUYINIUDA 19寸